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文献
J-GLOBAL ID：200902025207943511
整理番号：84A0107234
アルミニウムの電気化学的トンネルエッチング
Electrochemical tunnel etching of aluminum.
ALWITT R S
(United Chemi-Con Inc., Illinois)
,
UCHI H
(United Chemi-Con Inc., Illinois)
,
BECK T R
(Electrochemical Technology Corp., Washington)
,
ALKIRE R C
(Univ. Illinois)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 131 号： 1 ページ： 13-17 発行年： 1984年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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