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文献
J-GLOBAL ID：200902025845376497
整理番号：92A0385869
陰極アーク蒸着で作製したダイアモンド様炭素膜
Diamond-like carbon films synthesized by cathodic arc evaporation.
COLL B F
(Multi-Arc Scientific Coatings, NJ, USA)
,
SATHRUM P
(Multi-Arc Scientific Coatings, NJ, USA)
,
AHARONOV R
(Multi-Arc Scientific Coatings, NJ, USA)
,
TAMOR M A
(Ford Motor Co., MI, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 209 号： 2 ページ： 165-173 発行年： 1992年03月30日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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