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文献
J-GLOBAL ID：200902026235310369
整理番号：86A0532543
すずの注入で前もって非晶質化することによる浅い接合の形成
Shallow junction formation by preamorphization with tin implantation.
DELFINO M
(Signetics Corp., California)
,
SADANA D K
(Signetics Corp., California)
,
MORGAN A E
(Signetics Corp., California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 49 号： 10 ページ： 575-577 発行年： 1986年09月08日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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