文献
J-GLOBAL ID:200902026660513788
整理番号:90A0409883
排気時の真空粒子生成と核形成現象
Vacuum particle generation and the nucleation phenomena during pumpdown.
著者 (2件):
CHEN D
(Univ. California, California)
,
HACKWOOD S
(Univ. California, California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
8
号:
2
ページ:
933-940
発行年:
1990年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)