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文献
J-GLOBAL ID：200902026717193980
整理番号：89A0273423
高周波法で発生させたプラズマを用いたプラズマ中イオン注入
Plasma immersion ion implantation using plasmas generated by radio frequency techniques.
TENDYS J
(Australian Nuclear Science and Technology Organization, NSW, AUS)
,
DONNELLY I J
(Australian Nuclear Science and Technology Organization, NSW, AUS)
,
KENNY M J
(Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization, NSW, AUS)
,
POLLOCK J T A
(Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization, NSW, AUS)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 53 号： 22 ページ： 2143-2145 発行年： 1988年11月28日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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