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文献
J-GLOBAL ID：200902028411543556
整理番号：84A0308865
マグネトロンスパッタ法で形成したSiO2/128°Y-XLiNbO3構造のSAWの性質
SAW properties of SiO2/128° Y-X LiNbO3 structure fabricated by magnetron sputtering technique.
YAMANOUCHI K
(Tohoku Univ.)
,
HAYAMA S
(Yokosuka Electrical Communication Lab.)
資料名：
IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics
(IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics)
巻： 31 号： 1 ページ： 51-57 発行年： 1984年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0018-9537 CODEN： IESUA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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