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文献
J-GLOBAL ID：200902028550129152
整理番号：86A0336515
イオン蒸着系における蒸着高融点金属の化合物の「や金学」的特性と放電プラズマの性質との間の相関
Correlations entre la nature du plasma de decharge et les caracteristiques metallurgiques des depots de composes metalliques refractaires dans les systemes de depots ioniques.
DUPONT L
(E.T.C.A., France)
,
DEGOUT D
(E.T.C.A., France)
,
FARGES G
(E.T.C.A., France)
資料名：
Vide, les Couches Minces
(Vide, les Couches Minces)
巻： 41 号： 230 ページ： 55-59 発行年： 1986年01月
JST資料番号： E0358A ISSN： 0223-4335 CODEN： VCMIDS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： フランス (FRA) 言語： フランス語 (FR)
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