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文献
J-GLOBAL ID：200902029102811631
整理番号：92A0050672
ガラスの反応性イオンエッチングの評価と集積光学への応用
Characerization of reactive ion etching of glass and its applications in integrated optics.
RONGGUI S
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
RIGHINI G C
(Inst. Ricerca sulle Onde Eletteomagnetiche, CNR, Firenze)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 9 号： 5 ページ： 2709-2712 発行年： 1991年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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