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文献
J-GLOBAL ID：200902029216961145
整理番号：89A0455397
25nmスケールの走査キャパシタンス顕微鏡法
Scanning capacitance microscopy on a 25nm scale.
WILLIAMS C C
(IBM, T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
HOUGH W P
(IBM, T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
RISHTON S A
(IBM, T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 55 号： 2 ページ： 203-205 発行年： 1989年07月10日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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