文献
J-GLOBAL ID:200902029567884848
整理番号:91A0014124
コヒーレンス走査顕微鏡による形状計測
Profilometry with a coherence scanning microscope.
著者 (2件):
LEE B S
(IBM Research Division, California)
,
STRAND T C
(IBM Research Division, California)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
29
号:
26
ページ:
3784-3788
発行年:
1990年09月10日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)