文献
J-GLOBAL ID:200902029802061943
整理番号:87A0377623
スーパコンピュータ上の厳密な3次元プロセスシミュレータ SMART-P
Rigorous three-dimensional process simulator on a super-computer: SMART-P.
著者 (4件):
ODANAKA S
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Moriguchi, JPN)
,
UMIMOTO H
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Moriguchi, JPN)
,
WAKABAYASHI M
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Moriguchi, JPN)
,
ESAKI H
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Moriguchi, JPN)
資料名:
Digest of Technical Papers. IEEE/ACM International Conference on Computer-Aided Design
(Digest of Technical Papers. IEEE/ACM International Conference on Computer-Aided Design)
巻:
1986
ページ:
468-471
発行年:
1986年
JST資料番号:
D0968C
ISSN:
1092-3152
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)