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文献
J-GLOBAL ID：200902030620748682
整理番号：91A0724006
3自由度マイクロ静電型アクチュエータの新機構及び動的制御方法
New Mechanism and Dynamic Control Method of Micro Electrostatic Actuator with Three Degrees of Freedom.
FUKUDA T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TANAKA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation
(Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation)
巻： 1991 号： Vol.2 ページ： 1610-1615 発行年： 1991年
JST資料番号： T0044A ISSN： 1050-4729 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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