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文献
J-GLOBAL ID：200902030752258986
整理番号：90A0758677
ポリイミド膜上の薄膜金属のための変更技法
Engineering change (EC) technology for thin film metallurgy on polyimide films.
RAY S K
(IBM General Technology Division, NY)
,
SESHAN K
(IBM General Technology Division, NY)
,
INTERRANTE M
(IBM General Technology Division, NY)
資料名：
Proceedings. Electronic Components & Technology Conference
(Proceedings. Electronic Components & Technology Conference)
巻： 40th 号： Vol 1 ページ： 395-400 発行年： 1990年
JST資料番号： H0393A ISSN： 0569-5503 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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