文献
J-GLOBAL ID:200902031459802996
整理番号:92A0798702
気相蒸着したイットア,ジルコニア薄膜の構造
Structure of vapor-deposited yttria and zirconia thin films.
著者 (7件):
LONG G G
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
,
BLACK D R
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
,
FELDMAN A
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
,
FARABAUGH E N
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
,
SPAL R D
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
,
TANAKA D K
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
,
ZHANG Z
(National Inst. Standards and Technology, MD, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
217
号:
1/2
ページ:
113-119
発行年:
1992年09月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)