文献
J-GLOBAL ID:200902033189984593
整理番号:89A0123079
顕微鏡像偏光解析計の性能
Performance of a microscopic imaging ellipsometer.
著者 (1件):
BEAGLEHOLE D
(Victoria Univ. Wellington, Wellington, NZL)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
59
号:
12
ページ:
2557-2559
発行年:
1988年12月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)