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文献
J-GLOBAL ID：200902035174037981
整理番号：91A0802506
新しい平面型マイクロ波プラズマ源でのダイアモンド成長の研究
Investigation of diamond growth in a new planar microwave plasma source.
OHL A
(Central Inst. Electron Physics, Academy of Science of the G.D.R., Greifswald, DEU)
,
SCHMIDT M
(Central Inst. Electron Physics, Academy of Science of the G.D.R., Greifswald, DEU)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 47 号： 1/3 ページ： 29-38 発行年： 1991年08月
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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