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文献
J-GLOBAL ID：200902035340133129
整理番号：91A0608964
点接触顕微鏡(PCM)で調べた非晶質炭素膜の摩擦特性
Tribological characteristics of amorphous carbon films investigated by point contact microscopy.
MIYAMOTO T
(NTT Applied Electronics Lab., Tokyo, JPN)
,
KANEKO R
(NTT Applied Electronics Lab., Tokyo, JPN)
,
MIYAKE S
(Nippon Inst. Technology, Saitama, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 9 号： 2 Pt 2 ページ： 1336-1339 発行年： 1991年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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