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文献
J-GLOBAL ID：200902036789559348
整理番号：83A0345702
ベーク可能真空シールのシーリング機構
Sealing mechanisms in bakeable vacuum seals.
ROTH A
(Soreq Nuclear Research Centre, Israel)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 1 号： 2 Pt 1 ページ： 211-219 発行年： 1983年04月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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