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文献
J-GLOBAL ID：200902036827592699
整理番号：86A0237033
イオン利用薄膜蒸着における熱スパイクによる構造変化のモンテカルロ計算
Monte Carlo calculation for structural modifications in ion-assisted thin film deposition due to thermal spikes.
MUELLER K-H
(CSIRO, Australia)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 4 号： 2 ページ： 184-188 発行年： 1986年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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