文献
J-GLOBAL ID:200902037405782793
整理番号:91A0832232
Operation of sub-micron gap electrostatic comb-drive actuators.
著者 (4件):
HIRANO T
(IBM Research, Tokyo, JPN)
,
FURUHATA T
(IBM Research, Tokyo, JPN)
,
GABRIEL K J
(AT&T Bell Lab., NJ)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Digest of Technical Papers. Transducers ’91
(Digest of Technical Papers. Transducers '91)
ページ:
873-876
発行年:
1991年
JST資料番号:
K19910489
ISBN:
0-87942-586-5
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)