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文献
J-GLOBAL ID：200902039363386240
整理番号：91A0947453
1,5-シクロオクタジエン銅(I)ヘキサフルオロアセチルアセトネートによる銅の化学蒸着
Chemical vapor deposition of copper from 1,5-cyclooctadiene copper(I) hexafluoroacetylacetonate.
REYNOLDS S K
(IBM Research Division, New York)
,
SMART C J
(IBM Research Division, New York)
,
BARAN E F
(IBM Research Division, New York)
,
BAUM T H
(IBM Research Division, California)
,
LARSON C E
(IBM Research Division, California)
,
BROCK P J
(IBM Research Division, California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 59 号： 18 ページ： 2332-2334 発行年： 1991年10月28日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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