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J-GLOBAL ID：200902039411419300 整理番号：87A0527530

SEM画像の三次元画像構築技術

The three-dimensional image construction technology for the SEM image.

著者 (5件)：

駒井謙治郎

(京大工)

箕島弘二

(京大工)

菊地純

(ファナック)

野口昌利

(三菱金属)

KIM G

(京大大学院)

資料名：

日本機械学会論文集 A編 (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)

巻： 53 号： 494 ページ： 1961-1965 発行年： 1987年10月
JST資料番号： F0227B ISSN： 0387-5008 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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