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文献
J-GLOBAL ID：200902039659582312
整理番号：87A0377245
光切断法によるコンタクト表面形状の自動測定の基礎検討
A basic study on automatic measurement of surface profile of electric contact using light section microscope.
曽根秀昭
(東北大 工)
,
高木相
(東北大 工)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C)
巻： 70 号： 3 ページ： 424-429 発行年： 1987年03月
JST資料番号： S0623A ISSN： 0913-5723 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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