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文献
J-GLOBAL ID：200902040456870981
整理番号：88A0343035
シリコンウエハ中のバルク少数担体寿命時間測定のための化学的/マイクロ波手法
A chemical/microwave technique for the measurement of bulk minority carrier lifetime in silicon wafers.
LUKE K L
(California Inst. Technology, CA, USA)
,
CHENG L-J
(California Inst. Technology, CA, USA)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 135 号： 4 ページ： 957-961 発行年： 1988年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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