文献
J-GLOBAL ID:200902041082169342
整理番号:83A0039533
スパッタリングにおける熱スパイク効果の研究 I 低keVの重イオン照射における収量の温度依存性
A search for a thermal spike effect in sputtering. I. Temperature dependence of the yield at low-keV, heavy-ion bombardment.
著者 (4件):
BESOCKE K
(Kernforschungsanlage Juelich, FRG)
,
BERGER S
(Kernforschungsanlage Juelich, FRG)
,
HOFER W O
(Kernforschungsanlage Juelich, FRG)
,
LITTMARK U
(Kernforschungsanlage Juelich, FRG)
資料名:
Radiation Effects
(Radiation Effects)
巻:
66
号:
1/2
ページ:
35-41
発行年:
1982年
JST資料番号:
A0224A
ISSN:
0033-7579
CODEN:
RAEFBL
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)