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文献
J-GLOBAL ID：200902042033193536
整理番号：89A0194067
ミラー光学を用いた高分解能の低エネルギービーム
High-resolution, low-energy beams by means of mirror optics.
MUNRO E
(Imperial Coll., London, GBR)
,
ORIOFF J
(Oregon Graduate Center, OR, USA)
,
RUTHERFORD R
(Rutherford Consultant, CT, USA)
,
WALLMARK J
(Image Graphics Inc., CT, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 6 号： 6 ページ： 1971-1976 発行年： 1988年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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