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J-GLOBAL ID：200902042611735088 整理番号：92A0363356

エキシマレーザ用の陰イオン補助予備電離

Negative ion assisted preionization for excimer lasers.

著者 (2件)：

OSBORNE M R

(AEA Technology, Oxon, GBR)

GREEN J M

(AEA Technology, Oxon, GBR)

資料名：

Journal of Applied Physics (Journal of Applied Physics)

巻： 71 号： 7 ページ： 3127-3133 発行年： 1992年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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