文献
J-GLOBAL ID:200902042853409614
整理番号:90A0659523
走査トンネル顕微鏡の微細加工に対するプレーナプロセス
A planar process for microfabrication of a scanning tunneling microscope.
著者 (4件):
AKAMINE S
(Stanford Univ., CA, USA)
,
ALBRECHT T R
(Stanford Univ., CA, USA)
,
ZDEBLICK M J
(Stanford Univ., CA, USA)
,
QUATE C F
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
23
号:
1/3
ページ:
964-970
発行年:
1990年04月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)