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文献
J-GLOBAL ID：200902043244663349
整理番号：90A0366203
チタンテトライソプロポキシドからのTiO2低圧化学蒸着速度
Kinetics of low-pressure chemical vapor deposition of TiO2 from titanium tetraisopropoxide.
SIEFERING K L
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
GRIFFIN G L
(Univ. Minnesota, Minnesota)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 137 号： 3 ページ： 814-818 発行年： 1990年03月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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