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文献
J-GLOBAL ID：200902043652250052
整理番号：90A0659554
光ファイバ/微細機構の組合せによる周波数出力型変位センサ
Hybrid fiber-optic/micromechanical frequency encoding displacement sensor.
GROSCH G
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 23 号： 1/3 ページ： 1128-1131 発行年： 1990年04月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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