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文献
J-GLOBAL ID:200902043652250052   整理番号:90A0659554

光ファイバ/微細機構の組合せによる周波数出力型変位センサ

Hybrid fiber-optic/micromechanical frequency encoding displacement sensor.
著者 (1件):
GROSCH G
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)

資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻: 23  号: 1/3  ページ: 1128-1131  発行年: 1990年04月 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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