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文献
J-GLOBAL ID：200902044050206156
整理番号：92A0821012
ポリイミド薄膜被覆の表面音響モードの実時間光学的特性評価
Real-time optical characterization of surface acoustic modes of polyimide thin-film coatings.
DUGGAL A R
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
ROGERS J A
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
NELSON K A
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 72 号： 7 ページ： 2823-2839 発行年： 1992年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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