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文献
J-GLOBAL ID：200902044055712548
整理番号：92A0630113
立方晶窒化ほう素薄膜の相制御
Phase control of cubic boron nitride thin films.
KESTER D J
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
MESSIER R
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 72 号： 2 ページ： 504-513 発行年： 1992年07月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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