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J-GLOBAL ID：200902045738951765 整理番号：87A0070343

薄膜品質試験としての走査電子顕微鏡による硬度測定

Hardness measurements in a SEM as a quality test for thin films.

著者 (3件)：

BANGERT H

(Technical Univ. Vienna, Vienna, AUT)

KAMINITSCHEK A

(Technical Univ. Vienna, Vienna, AUT)

WAGENDRISTEL A

(Technical Univ. Vienna, Vienna, AUT)

資料名：

Hybrid Circuits (Hybrid Circuits)

号： 11 ページ： 15-17 発行年： 1986年09月
JST資料番号： H0949A ISSN： 0305-6120 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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