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文献
J-GLOBAL ID：200902045789505778
整理番号：92A0277475
プラズマ支援化学蒸着で作製した過剰炭素をもつSi-C,Ti-C,Ge-C被覆の摩擦係数
Friction coefficient of Si-C, Ti-C and Ge-C coatings with excess carbon formed by plasma-assisted chemical vapour deposition.
OGURI K
(Toyota Central Research and Development Lab., Inc., Aichi-ken, JPN)
,
ARAI T
(Toyota Central Research and Development Lab., Inc., Aichi-ken, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 208 号： 2 ページ： 158-160 発行年： 1992年02月28日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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