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文献
J-GLOBAL ID：200902045928239441
整理番号：90A0511513
電子線レジストとしてのポリマの電子感度と化学的構造の関係 VII ペンダント1,3-ジオキソラン基を有するビニルポリマの電子感度
Relationship between electron sensitivity and chemical structures of polymers as electron beam resist. VII. Electron sensitivity of vinyl polymers containing pendant 1,3-dioxolan groups.
OGUCHI K
(Sophia Univ., Tokyo, JPN)
,
SANUI K
(Sophia Univ., Tokyo, JPN)
,
OGATA N
(Sophia Univ., Tokyo, JPN)
,
TAKAHASHI Y
(Dai Nippon Printing Co., Ltd., Saitama, JPN)
,
NAKADA T
(Dai Nippon Printing Co., Ltd., Saitama, JPN)
資料名：
Polymer Engineering & Science
(Polymer Engineering & Science)
巻： 30 号： 8 ページ： 449-452 発行年： 1990年04月
JST資料番号： C0640A ISSN： 0032-3888 CODEN： PYESA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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