文献
J-GLOBAL ID:200902046247398068
整理番号:86A0023530
分光的偏光解析による粗さの測定
Roughness measurements by spectroscopic ellipsometry.
著者 (3件):
BLANCO J R
(Pennsylvania State Univ.)
,
MCMARR P J
(Pennsylvania State Univ.)
,
VEDAM K
(Pennsylvania State Univ.)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
24
号:
22
ページ:
3773-3779
発行年:
1985年11月15日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)