文献
J-GLOBAL ID:200902046366236548
整理番号:86A0237034
スパッタ蒸着過程の分析へのモンテカルロシミュレーションの応用
Applications of Monte Carlo simulation in the analysis of a sputter-deposition process.
著者 (1件):
MOTOHIRO T
(Toyota Central Research and Development Lab. Inc., Aichi-ken)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
2
ページ:
189-195
発行年:
1986年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)