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文献
J-GLOBAL ID：200902047266342770
整理番号：91A0832145
Laser deposition and etching of three-dimensional microstructures.
BLOOMSTEIN T M
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
EHRLICH D J
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
資料名：
Digest of Technical Papers. Transducers ’91
(Digest of Technical Papers. Transducers '91)
ページ： 507-511 発行年： 1991年
JST資料番号： K19910489 ISBN： 0-87942-586-5 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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