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文献
J-GLOBAL ID：200902047620722187
整理番号：84A0246500
レーザ微細化学処理に関するレビュー
A review of laser-microchemical processing.
EHRLICH D J
(Massachusetts Inst. Technology)
,
TSAO J Y
(Massachusetts Inst. Technology)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 1 号： 4 ページ： 969-984 発行年： 1983年10月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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