文献
J-GLOBAL ID:200902047639757720
整理番号:87A0178850
陰極アーク析出技術
Cathodic arc deposition technology.
著者 (3件):
LINDFORS P A
(Perkin-Elmer Corp., MN, USA)
,
MULARIE W M
(Perkin-Elmer Corp., MN, USA)
,
WEHNER G K
(Univ. Minnesota, MN, USA)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
29
号:
4
ページ:
275-290
発行年:
1986年12月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)