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文献
J-GLOBAL ID：200902048330970949
整理番号：91A0005858
残留ガス分析器用のガス放出速度が非常に低い分離形アルミニウムフランジ付き熱陰極イオン源
Very-low outgassing rate, separable, aluminium-flanged, hot-cathode ion source for a residual gas analyzer.
WATANABE F
(Sukegawa Electric Co., Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 8 号： 5 ページ： 3890-3891 発行年： 1990年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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