文献
J-GLOBAL ID:200902048505469415
整理番号:92A0529437
オーバレイ測定の精度 工具とマーク非対称性効果
Accuracy of overlay measurements: tool and mark asymmetry effects.
著者 (5件):
STARIKOV A
(IBM/East Fishkill, New York)
,
COLEMAN D J
(IBM/East Fishkill, New York)
,
LARSON P J
(IBM/East Fishkill, New York)
,
LOPATA A D
(IBM/East Fishkill, New York)
,
MUTH W A
(IBM/East Fishkill, New York)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
31
号:
6
ページ:
1298-1310
発行年:
1992年06月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)