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文献
J-GLOBAL ID：200902048746640565
整理番号：91A0577670
直流反応性マグネトロンスパッタリングにおけるグロー放電特性の研究
Studies on glow-discharge characteristics during dc reactive magnetron sputtering.
RAO G M
(Indian Inst. Science, Bangalore, IND)
,
MOHAN S
(Indian Inst. Science, Bangalore, IND)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 69 号： 9 ページ： 6652-6655 発行年： 1991年05月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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