文献
J-GLOBAL ID:200902048852330125
整理番号:87A0235360
GaAsホモエピタクシーにおけるクロスハッチの発生
The occurence of cross hatch during GaAs homoepitaxy.
著者 (5件):
CUNNINGHAM J E
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
CHIU T H
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
OURMAZD A
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
SHAH J
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
TSANG W T
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
60
号:
12
ページ:
4165-4168
発行年:
1986年12月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)