文献
J-GLOBAL ID:200902049530269150
整理番号:85A0139782
極端紫外のための層状合成微細構造技法の考察
Layered synthetic microstructure technology considerations for the extreme ultraviolet.
著者 (1件):
KESKI-KUHA R A M
(NASA Goddard Space Flight Center, Maryland)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
23
号:
20
ページ:
3534-3537
発行年:
1984年10月15日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)