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文献
J-GLOBAL ID：200902049951263142
整理番号：92A0778795
活性クラスタ衝撃による薄膜
Thin films from energetic cluster impact: A feasibility study.
HABERLAND H
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
,
KARRAIS M
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
,
MALL M
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
,
THURNER Y
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 10 号： 5 ページ： 3266-3271 発行年： 1992年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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