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文献
J-GLOBAL ID：200902050032446859
整理番号：82A0362575
Hewlett-Packard605電子ビームリソグラフィー装置における偏向非点収差と焦点ぼけの自動測定と補正
Automatic measurement and correction of deflection astigmatism and defocusing in the Hewlett-Packard 605 electron beam lithography system.
OWEN G
(Hewlett-Packard, California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology
(Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 19 号： 4 ページ： 1064-1068 発行年： 1981年11月
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTAL 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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