文献
J-GLOBAL ID:200902051519193120
整理番号:88A0458762
エッチングした単軸回転の水晶板の表面プロファイルの数学的シミュレーションのためのベクトル解析
A vectorial analysis for the numerical simulation of the surface profiles of etched singly-rotated quartz plates.
著者 (3件):
TELLIER C R
(Ecole Nationale Sup<span style=text-decoration:overline>e ́</span>rieure de M<span style=text-decoration:overline>e ́</span>canique et des Microtechniques, Besancon, FRA)
,
VIALLE N
(Ecole Nationale Sup<span style=text-decoration:overline>e ́</span>rieure de M<span style=text-decoration:overline>e ́</span>canique et des Microtechniques, Besancon, FRA)
,
VATERKOWSKI J L
(Ecole Nationale Sup<span style=text-decoration:overline>e ́</span>rieure de M<span style=text-decoration:overline>e ́</span>canique et des Microtechniques, Besancon, FRA)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
34
号:
4
ページ:
417-439
発行年:
1988年06月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)