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文献
J-GLOBAL ID：200902051876383085
整理番号：91A0005854
真空系の表面を洗浄するための高速二酸化炭素スノー
High velocity carbon dioxide snow for cleaning vacuum system surfaces.
LAYDEN L
(BOC Group Technical, New Jersey)
,
WADLOW D
(BOC Group Technical, New Jersey)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 8 号： 5 ページ： 3881-3883 発行年： 1990年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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