文献
J-GLOBAL ID:200902053035609790
整理番号:87A0052350
支持金属膜を蒸着源とするエキシマレーザを用いた金属蒸着
Metal deposition from a supported metal film using an excimer laser.
著者 (3件):
BOHANDY J
(Johns Hopkins Univ., MD, USA)
,
KIM B F
(Johns Hopkins Univ., MD, USA)
,
ADRIAN F J
(Johns Hopkins Univ., MD, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
60
号:
4
ページ:
1538-1539
発行年:
1986年08月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)